1. 정밀 온도제어 편차 ≤±0.05℃ 유지
2. 각각의 덕트별 풍량제어 가능(개별제어 콘트롤 적용)
3. 각각의 덕트별 개별온도 가능(개별온도제어기 적용)
4. 전자식팽창밸브 적용 일정한 과열도 유지
5. Customer가 쉽게 조작할 수 있는 PC Controller를 설치하여 1년이상 데이터 저장가능(온도, 알람)
6. PVG(PLC Visual Graphic) 화면 구성으로 alarm 발생 시 문제발생 원인 및 해결책을 쉽게 찾아 C/S 시간 단축
| ITEM | SPEC |
|---|---|
| System Unit | Temperature Control Unit / Duct Line / Filter Box / CMS |
| Glass Size | ~Gen.10 |
| Apply System | Turn Table / Robot Chamber / Buffer Chamber |
| Cover Material | Spray Steel Plate / SUS304 |
| Temperature Range | 20℃ ~ 25℃ |
| Glass Uniformity | ≤ ±0.1℃ |
| Temp. Stability | ≤ Set Temp. ± 0.05 ℃ |
| Class | ≤ 10ea/ft3 (0.3㎛) |
| Interface | MELSEC Net / Dry Contact |
Glass Temp Simulation에 대한 간단한 설명 입니다.
Air Flow Simulation에 대한 간단한 설명 입니다.
